参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1. 观察方式：激光共聚焦、激光共聚焦微分干涉、白光明场和白光微分干涉、ADF高级暗场、偏光及荧光功能。。
2. 分析通道：反射光、透射光。
3. 水平分辨率120nm，Z轴步进分辨率10nm，显示分辨率0.1nm。样品测量最大高度15mm。
4. 光学最大放大倍数为4000x。
主要功能及特色
材料学、半导体材料、石油地质及生物食品等物质的亚微结构观察和分析。可对材料表面进行体积测量，粗糙度测量，3D表面形貌；微米和亚微米级部件的尺寸测量，表面形貌观察；半导体芯片表面形貌观察，非接触型的线宽，台阶深度摩擦学磨痕的体积测量等测量研究。附加的荧光功能测量可以检测材料的缺陷和性能。该仪器的优势就是无需制样，无需抽真空可直接观察样品，测量精度高，能够方便快捷地分析样品的表面形貌；可以附加一定的环境场，比如电场或冷热台等，实现原位实时测量。同时具有普通光学显微镜的全部观察分析功能。