主要技术指标:
最高放大倍数:10万倍
分辨率:3.4nm
高真空分辨率:3.0nm(二次电子) 低真空分辨率:3.5nm(二次电子)
加速电压:0.2-30kV 低真空度:20torr(9226Pa)
样品室大小:50×50×50(mmm) 试样台控制:四轴马达驱动或手动,
手动倾角样品台温度:-10—60℃
环境扫描电镜主要用于试样表面的形貌观察和元素定性与半定量分析,其主要功能有两方面:
1、常规方式:和常规扫描电镜功能相同,环境扫描电镜可在高真空条件下对试样表面进行形貌观察和元素分析。
2、环境方式:可以直接观察、分析含水样品和非导电样品。这是环境扫描电镜的特色之处:
(1)可对未喷金、碳的材料试样直接进行形貌观察与元素分析,适合于不宜进行表面处理的试样。
(2)可对含水样品直接进行形貌观察与元素分析,适合含一定水分的新鲜生物样品的元素分析如植物叶片、新鲜果实;还适合不宜进行脱水前处理的生物样品的形貌观察,如某些昆虫具有特殊结构遇有机溶剂脱水会丢失。
因此,环境扫描电镜在生物学、医学、农学、食品科学、物理学、化学及环境科学与工程、地质、材料、冶金、陶瓷、电子、半导体等众多学科领域有十分广泛的应用。