参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1、横向最小线宽：160 nm
2、二维横向分辨率：500 nm
3、额定激光扫描速度：10 mm/s
4、最大行程：100 x 100 mm2
5、可制备样品最大高度：≥ 8mm
主要功能及特色
对高分子感光材料进行超高精度的曝光，制备出最小的二维线宽可达160 nm以下，二维分辨率可达500 nm以下的电路图或者精密微纳米科研用器件。