参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1.分辨率：
高真空分辨率（二次电子）：0.5 nm@15kV
高真空分辨率（二次电子）：0.7 nm@1kV（不开减速）
高真空分辨率（二次电子）：0.9 nm@500V（开减速模式）
2. 加速电压：0.01kV~30kV
3. 束流大小：3pA ~500nA
4. 放大倍率：10~200万倍
5. 元素分析范围: Be ~ U92
主要功能及特色
该仪器具有超高分辨率，能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备有高性能X射线能谱仪系统，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
广泛用于材料、机械、物理、化学化工、生物、医学、药学、食品、环境、能源、地质矿物等领域的研究及产品分析，可以观察和分析上述微米、纳米级样品的表面特征，是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。