参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
二次电子分别率：3.0nm(30kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV)
背散射电子分辨率：4.0nm(30kV)
加速电压：0.5~30kV连续可调
放大倍率：5X-300000X
真空度：高真空为小于0.1mPa，低真空为10~100Pa，高低真空自动切换
偏压：全自动偏压调整
聚焦：自动聚焦功能
样品台：全对中样品台
能谱仪：能力分辨率129eV，元素范围为B~U，制冷方式为电制冷
驱动机构为独立2轴驱动，可选择θ-2θ联动或θ、2θ轴独立驱动。
主要功能及特色
本仪器可在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料以及化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析；材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色以及机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥以及玻璃纤维)等检验和研究。