参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1.分辨率：0.8nm(15kV、WD2mm)/1.2nm(1kV、WD2mm)
2.大束流分辨率：3.0nm (15kV、 5nA、WD10mm)
3.背散射像分辨率：1.5nm(30KV、WD2mm)
4.STEM像分辨率：0.8nm(30KV、WD6mm)
5.加速电压：0.01KV～30kV
6.放大倍数：25～1000K
7.束流强度：1pA～200nA
8.分析元素范围：B5～U92
主要功能及特色
该仪器具有超高分辨率，能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备有高性能X射线能谱仪系统，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
广泛用于材料、机械、物理、化学化工、生物、医学、药学、食品、环境、能源、地质矿物等领域的研究及产品分析，可以观察和分析上述微米、纳米级样品的表面特征，是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。