参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1.分辨率：3.0nm(30kV)/10.0nm(3kV)
2.加速电压：0.3KV-30kV
3.放大倍数：10-200K
4.束流强度：1pA到1µA
5.分析元素范围：B5～U92
主要功能及特色
该仪器具有高分辨率，能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备有高性能X射线能谱仪系统，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
广泛用于机械、材料、物理、化学化工、生物、医学、药学、食品、环境、地质矿物等领域的研究及产品分析，可以观察和检测上述微米、亚微米样品的表面特征。