参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速电压：0.5KV-30kV
3.放大倍数：10-800K
4.大束流高分辨5nA，WD10mm,15kV时分辨率3.0nm
5.束流强度：1pA到200nA
6.分析元素范围：B5～U92
主要功能及特色
该仪器具有超高分辨率，能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备有有高性能X射线能谱仪和背散射衍射系统，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析及微区物相结构分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
广泛用于机械、材料、物理、化学化工、生物、医学、药学、食品、环境、地质矿物等领域的研究及产品分析，可以观察和检测上述微米、纳米级样品的表面特征，是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。