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磁控溅射镀膜仪
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等离子体化学气相沉积（PECVD）
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等离子体增强化学气相沉积仪
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低温探针台
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低压化学气相沉积系统
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低重频高对比度高能输出模块
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电流体喷印仪
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电子束光学镀膜机
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电子束蒸镀机
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